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GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

作者:标准资料网 时间:2024-04-30 20:21:33  浏览:9000   来源:标准资料网
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基本信息
标准名称:硅抛光片表面质量目测检验方法
英文名称:Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
中标分类: 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合
ICS分类: 电气工程 >> 半导体材料
替代情况:替代GB/T 6624-1995
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
首发日期:1986-07-26
作废日期:
主管部门: 国家标准化管理委员会
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位:上海合晶硅材料有限公司
起草人:徐新华、王珍
出版社:中国标准出版社
出版日期:2010-06-01
页数:8
计划单号:20065626-T-469
适用范围

本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。
本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

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引用标准

GB/T14264 半导体材料术语

所属分类: 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料
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【英文标准名称】:Aerospaceseries-Pipecoupling8°30'intitaniumalloy-Tees,reduced,branchwiththrustwirenut
【原文标准名称】:航空航天系列.钛合金8°30'管连接件.带止推金属丝螺母的异径三通管
【标准号】:BSEN3080-2006
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2006-09-29
【实施或试行日期】:2006-09-29
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:验收规范;航空航天运输;航空运输;压合接头;名称与符号;作标记;管道配件;管连接;三通管;航天运输;规范(验收);三通配件;止推金属丝;钛合金;T形连接;活接头螺母
【英文主题词】:Acceptancespecification;Aerospacetransport;Airtransport;Compressionfittings;Designations;Marking;Pipefittings;Pipejunctions;Pipetees;Spacetransport;Specification(approval);Tee-fittings;Thrustwires;Titaniumalloys;T-joints;Unionnuts
【摘要】:Thisstandardspecifiesthecharacteristicsoftees,reduced,branchwiththrustwirenut,forpipecouplings8°30',intitaniumalloy,foraerospaceapplications.Nominalpressure:upto28000kPa.Temperaturerange:?55°Cto135°C.
【中国标准分类号】:V21
【国际标准分类号】:49_080
【页数】:14P;A4
【正文语种】:英语


【英文标准名称】:Fixedresistorsforuseinelectronicequipment-Part9-1:Blankdetailspecification-Fixedsurfacemountresistornetworkswithindividuallymeasurableresistors-AssessmentlevelEZ(IEC60115-9-1:2003);GermanversionEN60115-9-1:2004
【原文标准名称】:电子设备用固定电阻器.第9-1部分:空白详细规范.带单独可测量电阻器的表面安装固定电阻器网络.评估级别EZ
【标准号】:EN60115-9-1-2004
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2004-10
【实施或试行日期】:2004-10-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;作标记;尺寸;尺寸选定;电子工程;电路网络;评定;试验条件;片式电阻器;锐度;质量评定;表面安装;电阻器;电气工程;空白格式;固定电阻器;规范(验收);详细规范;合格;电子设备及元件;分规范;检验;组件
【英文主题词】:Blankforms;Chipresistors;Circuitnetworks;Components;Conformity;Degreeofsharpness;Detailspecification;Dimensioning;Dimensions;Electricalengineering;Electronicengineering;Electronicequipmentandcomponents;Evaluations;Fixedresistors;Inspection;Marking;Qualityassessment;Resistors;Sectionalspecification;Specification(approval);Surfacemounting;Testing;Testingconditions
【摘要】:
【中国标准分类号】:L13
【国际标准分类号】:31_040_10
【页数】:12P.;A4
【正文语种】:英语



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